Зразок різки кремнію.
Зліва – різка кремнію з допоміжним водяним струменем; справа – традиційна різка зі захисним повітряним струменем.

Призначена для лазерного свердління отворів і різки пластин кремнію та інших матеріалів. Безпосередньо у точку різання подається мікрострумінь води високого тиску, який видаляє продукти абляції і зменшує зону теплового впливу на мішені.

Основні технічні характеристики:

Застосування:

• лазерне свердління отворів в кремнію та інших матеріалах;
• мікрорізка матеріалів.

Розробник:

Відділ фотонних процесів Інституту фізики НАН України (Кадан В.М.)

Контактна інформація:

тел. +380 44 525-98-41
ел. пошта: fesenko@iop.kiev.ua