Досліджено роботу джерела негативних іонів водню з пеннінговим розрядом в імпульсно-періодичному режимі, та виявлено процеси що призводять до підвищення ефективності роботи джерела к такому режимі.
Показано що основними процесами утворювання негативних іонів водню в джерелах з додаванням цезію є процеси перезарядки позитивних іонів на поверхні вкритій цезіем.
Виявлені умови формування інверсної функції розподілу електронів по енергіях у плазмі на основі азоту, та досліджено вплив параметр розряду (тиск, склад газової суміші, струм розраду) на утворення такої функції.
Показано, що основними стерелізуючими факторами в розряді низького тиску на суміші повітря з перекисом водню є утворення активних часток (таких як атоми, та збуджені молекули кисню та гідроксил радикали), а не ультрафіолетове випромінювання. Досліджено вплив складу газової суміші на концентрацію цих часток у плазмі.
Пояснено наявність максимуму концентрації атомарного азоту в плазмі жевріючого розряду при додаванні у розрядну суміш певної кількості аргону, що призводить до підвищення швидкості азотування поверхонь.