Принципова схема ФА-мікроскопу:
1 – лазер неперервного випромінювання; 2 – модулятор; 3 – сканер; 4 – об’єктив; 5 – зразок; 6 – п’єзокераміка; 7 – підсилювач; 8 – комп’ютер.

На рисунку наведено фрагменти підповерхневого зображення мікрозварки алюмінієвої фольги з кремнієвою основою мікросхеми, які візуалізовані через оптично-непрозорий підповерхневий шар за допомогою ФА мікроскопу. Хрестовина на мікрозварці – точка прикладення ультразвукового жала, яким здійснюється зварка.

Мікроскоп призначений для неруйнівного контролю якості мікрозварних з’єднань в кремнієвих мікросхемах. Його створено на замовлення НВО "Мікроприлад”.

Основні технічні характеристики:

Застосування:

• неруйнівний контроль якості мікрозварних з’єднань;
• якість механічного контакту.

Розробник:

відділ фотонних процесів Інституту фізики НАН України (Кадан В.М.)

Контактна інформація:

тел. +380 44 525-98-41
ел. пошта: fesenko@iop.kiev.ua